利用微区电化学系统高通量表征材料耐蚀性能的方法

半导体,重点成果

利用微区电化学系统高通量表征材料耐蚀性能的方法

本发明公开了一种利用微区电化学系统高通量表征材料耐蚀性能的方法,通过将多个待测试样分别均匀地排列在微区镶样模具中固化为一体式电极,采用扫描开尔文探针测量各个样品的开尔文电位,经高通量原位无损检测,实现不同材料样品耐蚀性的快速筛选。有效地避免了丝束电极在筛选过程中因成分差异造成电偶腐蚀的问题,同时,提高了筛选结果的准确性与效率,其中,样品耦合测试准确率由单独测试37.5%大幅提升为75%。本发明具有:1.高通量并行测试,大幅减少测试时间;2.减少了调试过程中的人为误差,提高了测试结果的准确率;3.避免丝束电极法的电偶腐蚀问题,有效地减小系统误差。在材料耐蚀性的筛选具有显著的应用价值。
上海大学
李谦 | 魏亮 | 聂敬敬 | 范洪强

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