项目名称：高分辨半导体显示器件及装备
转移转化方式：□转让 □许可 □作价入股 ✔展示
技术成熟度：□实验室 □小试 ✔中试 ✔小批量生产 □工业化生产
技术领域：□人工智能 □生物医药 ✔新材料 □节能环保 ✔其他
申报高校: 上海大学
| 1. 项目总体介绍:高精细图案化技术是实现平板显示产业向高分辨率、大开口率、高性能特性、柔性显示等高新技术关键技术。结合本单位开发的柔性显示电子级PI材料及制备技术，已推广应用于柔性显示屏的开发，以及高分辨医用平板探测器研发。由上海大学联合上海微电子装备（集团）股份有限公司，协同研发出 200*200mm型高精细平板显示用光刻机，解决了对位Mark 图形算法、对位 Mark 机器识别、柔性 TFT 基板翘曲对位等关键技术难题，实现了曝光精度2um、套刻精度±0.5um的技术能力，为高精细平板显示用光刻机装备开发奠定技术基础；由上海大学联合上海奕瑞光电子科技股份有限公司，协同研发出基于氧化物半导体技术的高分辨医用平板探测器，掌握了医用平板探测技术高分辨制备核心工艺与技术。上述技术分别于2016年、2020年获得上海市科学技术进步一等奖奖励。 | |
| 2. 技术创新点: 自主开发用于平板显示高分辨率柔性显示光刻工艺及装备，以及高分辨医用平板探测器工艺协同开发：（1）柔性基板光刻装备开发，解决柔性基板翘曲引入的对位误差、离焦等工艺缺陷；（2）柔性高分辨技术，基于平板显示高分辨率柔性显示光刻装备，开发高分辨、高对位精度图形化；（3）高分辨膜层技术，可开发特殊膜层下高分辨膜层工艺；（4）氧化物半导体层工艺开发与应用，提升平板探测的分辨率及探测精度。 | |
| 3. 知识产权归属及相关专利说明: 产权归属上海大学。 | |
| 4.商业化概述 (市场前景):高分辨显示技术是未来主要的显示技术之一，更高分辨率技术可扩展显示技术在AR/VR、智能医疗、远程会议、智慧显示终端、新材料高分辨制备等多领域得到广泛的应用，具有十分广阔的应用前景。 | |
| 5. 优先使用产业领域及地方区域:优先使用的产业领域为：智能手机终端、新材料高分辨项目研发、智能医疗、AR/VR等；优先使用的地方区域为：日常生活环境、研发机构、医院、娱乐设施等。 | |
| 6. 初步意向交易方式及金额: 以项目合作方式或技术专利转让等方式，进一步推进相关技术开发。 | |
| 7.行业状况目前高分辨显示技术已逐步应用于AR/VR、高分辨显示手机终端、智能医疗、科学研究等领域，已不断影响及改变了人们日常生活习惯，让生产、生活更加的便捷，让医疗诊断更加安全、精确；高分辨显示技术在科学研究领域的应用，促进了新材料、新工艺、新结构的开发与应用，也促进了精准医疗领域的发展，从而进一步促进新兴技术产业的形成与发展。 | |
| 展示方式：□实物（或模型） ✔展板图文 ✔多媒体演示 | |
| 展示要求：KT板：120cm*90cm; 多媒体：电视屏；电、插座 |