长度可控碳纳米管电极制备及导电性能检测装置

半导体,重点成果

长度可控碳纳米管电极制备及导电性能检测装置

本实用新型涉及一种长度可控碳纳米管电极制备及导电性能检测装置,属于精密微细电化学加工领域。该装置主要包括两套三维微动控制台。第一载物台(7)用于制备时装夹试验钨针(12);第二载物台(6)由碳纳米管电极制备区域(A)、导电性能检测区域(B)组成;碳纳米管电极制备区域(A)用于固定粘有阵列碳纳米管的导电胶(14);导电性能检测区域(B)用于固定探针(15)。将一定长度的碳纳米管焊接在钨针尖上制备成碳纳米管电极,并在线进行导电性能检测,减少了装夹误差和装夹过程中对碳纳米管电极的损伤,有效提高了加工效率,降低了加工成本。
南京航空航天大学

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